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韩国纳米综合技术研究院3月17日开始提供12英寸半导体测试台服务

发行日 : 2021 / 03 / 19

韩国纳米综合技术研究院(National NanoFab Center)3月16日表示,已完成12英寸半导体测试台的构建,从本月17日开始正式向韩国国内产学研用户提供服务。

韩国科学技术信息通信部在2019年7月日本实施限制出口后,纳米综合技术研究院被指定为半导体原材料、零部件、装备12英寸测试台的运营机构。纳米综合技术研究院投入财政经费450亿韩元(约合2.6亿人民币),构建了10台清洁室和核心装备,并准备了装备稳定化工作等服务。

半导体生产用原材料和零部件是日本实施限制出口后,对原材料、零部件、装备技术自立化敲响警钟的代表性器件。纳米综合技术研究院的现有8英寸设备无法对三星电子、SK海力士等半导体企业要求的12英寸晶圆的材料均匀度、缺陷等完成度进行评估。

纳米综合技术研究院表示:”今后,韩国国内半导体原材料、零部件、装备企业可以利用12英寸的测试台,迅速得到半导体核心材料性能测试的支持”,”可以大幅减少半导体领域原材料、零部件、装备技术自立化所需的时间和费用。”

信息来源:https://www.yna.co.kr/view/AKR20210316040700017?section=industry/technology-science

发布机构: 韩国网络媒体,发布时间:2021.03.16